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產(chǎn)品詳情規(guī)格表資料下載
精密油冷假負載
Precision Oil-Cooled Dummy Load
為了使生產(chǎn)過程重復性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應用需要精確的RF 功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準確性和重復性的關鍵部分就是射頻發(fā)射機的校準、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。
BIRD 提供超穩(wěn)定，低VSWR 的，針對發(fā)射機輸出功率配合BIRD 精密功率傳感器進行快速精確測量的負載。當運作在額定區(qū)域時，Dummy Load 負載VSWR 的總變化范圍能夠保持在0.1dB以內(nèi)。
負載針對不同時間長度校準，重復性極佳且無需預熱。這樣能夠極大減小該項校準的誤差，控制一個更關鍵的過程變量穩(wěn)定。
Moduloads 高功率液冷負載
Moduloads High Power Load
模組液冷負載系列是一款集成式水循環(huán)冷卻負載，需要 115伏或 230 伏的電壓輸入。模組負載能夠有效地將高達 25 至 50kW 功率等級的射頻能量耗散，支持頻率范圍延展至900MHz。負載芯 固定在模組中心。 負載模組結構緊湊，提供聯(lián)鎖控制電路提供故 障安全保護，可在系統(tǒng)故障發(fā)生時保護發(fā)射機等重要系統(tǒng)單元。
l 結構緊湊
l 一體式水循環(huán)模組系統(tǒng)
l 內(nèi)置護鎖開關，保證 RF 安全環(huán)境
l 配置有承重移動運輸系統(tǒng)
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型號 |
功率等級 |
頻率范圍 |
冷卻方式 |
預設接口 |
重量（kg） |
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8890-320 |
5kW |
DC-2.4GHz |
230VAC 風扇冷卻 |
QC 型 LC（f）接口 |
33kg |
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8921 |
5kW |
DC-1GHz |
自然冷卻 |
QC 型 LC（f）接口 |
57kg |
|
8931-230 |
10kW |
DC-1GHz |
230VAC 風扇冷卻 |
QC 型 LC（f）接口 |
65kg |
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8921SC13 |
5kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
自然冷卻 |
QC 型 LC（f）接口 |
57kg |
|
8931-230SC13 |
10kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
230VAC 風扇冷卻 |
QC 型 LC（f）接口 |
65kg |
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8941-230SC13 |
15kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
230VAC 風扇冷卻 |
QC 型 DIN（f）接口 |
107kg |
型號
功率等級
頻率范圍
接口類型
尺寸
重量
8645B230
25kW
1kHz-900MHz
3-1/8’’ EIA Flg
723x497x528
70kg
8655B230-5
50kW
1kHz-900MHz
3-1/8’’ EIA Flg
1347x497x528
125kg
*Dolly 選件
6771-011 25kW 水冷負載無塵室專用推車
6772B011 50kW 水冷負載無塵室專用推車
*使用前請詳細閱讀 manual 或在 BSC 指導下使用
mm
- 產(chǎn)品手冊
- Dummy Load_Dataheet_CN.pdf
